装置の概要
「何が測定できる装置なのか」
エネルギー分散型蛍光X線分析装置(XRF)は、試料に含まれる無機元素を非破壊で迅速に分析できる装置です。
「どんな試料が測定できるのか」
本装置では、無機元素の定性・半定量分析が可能です。
試料中に含まれる元素の種類とおおよその含有量を把握できるため、材料評価や異物調査に有効です。
・金属
・プラスチック
・ガラス・セラミックス
・鉱物など
特徴
弊社保有のエネルギー分散型蛍光 X 線分析装置は、高分解能シリコンドリフト検出器(SDD)と、低エネルギーX線の透過性に優れた UTW(Ultra‑Thin Window)を組み合わせた検出器が搭載されています。そのため、軽元素の検出感度が高く検出範囲は炭素(C)からウラン(U)までの元素を高感度で検出することができます。さらに、SDD の高いピーク分離能により、主成分(mass %)から微量不純物(wt ppm)レベルまでの定性・半定量分析が可能です。
これにより、異物の無機成分やガラス・金属などの材料評価 あるいは 環境負荷物質のスクリーニング検査などに対応しています。
試料サイズは5円玉(Φ5mm)程度の大きさがあれば測定は可能です。
原理
一次X線を試料に照射すると構成元素に固有な蛍光X線が発生します。発生した蛍光X線のエネルギーを測定することによって、元素の定性分析を行い、X線の強度を測定することによって定量分析を行うのが蛍光X線分析法です。このうち、蛍光X線のエネルギーを高いエネルギー分解能をもつ検出器を用いて測定する装置をエネルギー分散型の蛍光X線分析装置といいます。