一次X線を試料に照射すると構成元素に固有な蛍光X線が発生します。発生した蛍光X線のエネルギーを測定することによって、元素の定性分析を行い、X線の強度を測定することによって定量分析を行うのが蛍光X線分析法です。このうち、蛍光X線のエネルギーを高いエネルギー分解能をもつ検出器を用いて測定する装置をエネルギー分散方式蛍光X線分析装置といいます。装置は小型であり、ソフトボール大の試料についてピンポイントの非破壊分析が行えます。また、定量方法としてFP(ファンダメンタルパラメータ)法による理論強度計算を用いた標準物質の要らない分析が可能です。
欧州環境規制(RoHS)に対応するために、電機製品に含有する有害物質が基準以下であることを簡便･迅速にスクリーニングできる装置としてEDXRFが広く普及しています。